单晶硅片制绒

【实验目的】

①熟悉单晶硅片制绒流程与化学实验过程；

②熟悉实验操作步骤与安全规范；

③熟悉实验结果的检验与分析方法；

【实验原理】

Si+H₂O+2NaOH=Na₂SiO₃+2H₂↑  ；            

【实验流程-方案选择】

设计思路：通过实验验证NaOH浓度、时间、温度或其他因素对制绒效果的影响；

方案示例：验证NaOH浓度对制绒效果的影响；

烧杯	1#	2#	3#	4#
配液	主反应物：NaOH（2wt%）、NaOH（5wt%）、NaOH（7wt%）、 添加剂：Na2SiO3（0.5wt%）、IPA（5vol%）	DI water	HCL/HF	DI water
温度	85℃	室温	室温	室温
时间	20min	1min	1min	1min
辅助		搅拌	搅拌	搅拌
注意事项	1.操作过程应注意安全防护； 2.制绒过程中应待温度到达后开始计时； 3.wt%为质量百分比，vol%为体积百分比。

方案X：（设计实验方案）

烧杯	1#	2#	3#	4#
配液
温度
时间
辅助
注意事项	1.操作过程应注意安全防护； 2.制绒过程中应待温度到达后开始计时； 3.wt%为质量百分比，vol%为体积百分比。

【实验前准备】

1、清洗烧杯、0镊子、温度计等实验器材；

2、准备好口罩、帽子、手套、防酸碱手套、工作服；

3、根据烧杯尺寸切好硅片备用；

【硅片清洗与去损】

4、称重1：使用电子天平称量硅片重量；

5、粗抛：

称取NaOH放置于烧杯中，配置10wt%NaOH溶液；

打开水浴加热设备，将温度调至60℃，待温度达到后用镊子将硅片放入并开始计时；

6、称重2：取出硅片清洗后，称重；

【制绒】

7、配置制绒液：称取NaOH、Na₂SiO₃放置于烧杯中，配好制绒液；

8、升温：打开水浴加热设备，将温度调至设定温度，待温度达到后，加入IPA；

9、制绒：用镊子将硅片放入并开始计时；

10、清洗1：清洗硅片（去离子水清洗）；

11、清洗2：清洗硅片（酸洗）；

12、清洗3：清洗硅片（去离子水清洗）；

13、称重；

【实验器材清洗与整理】

14、实验废液放入专用回收瓶内；

15、清洗烧杯、镊子、防酸碱手套；

16、整理实验台面，废弃物放入垃圾筒；

【数据处理与实验回顾】

17、硅片表面外观检查、硅片制绒效果观察；

18、减薄量测试；

19、填写实验报告，实验结果分析与总结；

【安全注意事项】

20、实验涉及强酸、强碱，进行实验时需佩戴帽子、口罩、工作服、防酸碱手套；

21、实验过程中会释放一定量的氢气，需在通风良好的环境中进行实验；

22、实验过程中严禁嬉戏打闹。